2005-01-15 ちょっとやりすぎたっす 修論 表面を親水化するのに酸で煮て、塩基に晒すのですが、ちょっとばっかしやりすぎたようで、シリコンウェハーの表面が見るからにカサカサです。ちょっと可愛そうな気がしたので、プラズマクリーナーにあてて、表面の有機物を除去した後に速攻でシランカップリング剤に浸してお肌ツルツルにさせてあげました。 昨日よりもっと上手くいくと良いなあ。 頑張った割に上手くいかなかった。よって、このサンプルは別の試薬に回すことに。 やっぱまだまだ修行が足りないらしい。 今日は何か疲れたので早めに家に帰ろう。